依托上海技术中心研发团队,为客户提供直线电机模组推力、行程、精度、加速度参数测算、型号精准选型、非标工况方案优化、现场技术对接等一站式技术支持,解决设备传动适配难题
沃姆直线电机模组全系搭载光栅尺闭环控制系统,实现无背隙精准传动,定位精度可达 ±5µm ~ ±30µm,重复定位精度依光栅尺分辨率与导轨结构等级而定,高精度系列可满足半导体晶圆搬运、芯片检测、3C 精密移栽等微米级工况。
沃姆直线电机模组全系搭载光栅尺闭环控制系统,实现无背隙精准传动,定位精度可达 ±5µm ~ ±30µm,重复定位精度依光栅尺分辨率与导轨结构等级而定,高精度系列可满足半导体晶圆搬运、芯片检测、3C 精密移栽等微米级工况。
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